PAO高效过滤器检漏测试的目的:

      如果高效过滤器及其安装存在缺陷，如过滤器本身有小孔或安装不严密形成细小裂缝，将导致无法达到预定的净化效果。 因此，在安装或更换 HEPA 过滤器后，必须检查过滤器和安装连接是否泄漏。 通过测试高效过滤器的泄漏，发现高效过滤器及其安装的缺陷，以便采取补救措施。

检测对象:

    HEPA过滤器PAO泄漏测试（也称为DOP泄漏测试）。

    测试对象：高效出风口、FFU、层流罩、干热杀菌机、隧道烘箱杀菌、生命安全柜、洁净工作台、风淋室、传递窗、洁净棚、洁净筛网、洁净机组等高效过滤泄漏检测服务。

已安装 HEPA 检漏检查程序：

1 测试目的：通过对安装在洁净室的高效过滤器进行PAO检漏，确认高效过滤器的完整性和安装的密封性。

2 测试方法：PAO法。

3 测试状态和先决条件。

静态：风量/风速测试已完成，结果符合规定；

达标标准：

      被检高效过滤器测得的最大穿透率不得大于“出厂合格穿透率”的2倍。

      注1：“出厂合格穿透率”可按被检高效过滤器铭牌上标注的过滤效率换算。

                                        K=1-α

      式中，K——工厂合格渗透率；α——铭牌上标注的过滤效率。

检漏操作：

1 准备工作

       拆下高效过滤器的扩散板，清洁箱体和框架，防止灰尘干扰检测。

       准备惰性气体源（通常是氮气）。

2 AG1800气溶胶烟雾的介绍

       使用外径为 1/4 的塑料管将AG1800气溶胶发生器的惰性气体入口连接到装有压力调节阀的氮气瓶的出口。

       将气溶胶发生器放置在空气净化系统的风机柜中效后面（如果中效过滤器后面没有空间，则取下中效放置）。

       气溶胶发生器通电加热，使温度达到380.0℃～420.4℃。打开喷嘴控制阀，打开氮源(压力3.5KG)及其控制阀，调节气溶胶烟雾的输出。

3 参数设置

       DP-30气溶胶光度计初始化，0%参考标准值设置。

       100%基准设定：将采样管穿过预留或新开的检定孔，一端连接上游采样口（高效过滤器进气侧），另一端连接气溶胶光度计进行测量 上游气溶胶浓度。 调节气溶胶发生器输出阀的开闭，直至确认上游浓度达到10-20 μg/L，将此基数设为100%。

  注意：如果高效过滤器保留了验证孔，则在每次高效过滤器扫描之前执行 100% 的基线检查。 如果高效过滤器没有预留验证孔，则在主风道末端选择一个有代表性的高效过滤器开口作为100%基准的设定点。 对支管上重新支管的高效过滤器，在试验时对开孔进行单独检查，并设定为100%基准。

4 光度计扫描

      用光度计的采样头扫描高效过滤器的整个工作面（包括过滤器与框架之间、框架与框架之间、框架与静压箱之间）。 扫描时，采样头与过滤器的距离约为2-4cm，速度约为3-5cm/s。 扫描以直线来回进行，并且线条应该重叠。 在检测过程中，如果有闪烁的灯光和/或警报声，则表明有泄漏。

 注意：在扫描过程中避免灰尘堆积在箱体上，特别是采样头不能接触高效风口箱或过滤器框架。

测试结果:每个洁净室高效过滤器测得的渗透率数据。

结果分析:本次测试对X室进行了泄漏测试，X车间X级区域安装了高效过滤器。 测试数据证明，该区域安装的高效过滤器是完整的、密闭的。