用于微电子和半导体应用的洁净室设施由于其产品的敏感性而需要严格的环境控制。 这些洁净室还装有极其精密和昂贵的设备,例如光刻机、蚀刻机、清洗机、掺杂机和切割机。 因此,清洁规范中的任何缺陷都会影响整个生产过程。 微电子和半导体洁净室概念和设计中的其他常见问题是最大化空间,同时还允许未来重新配置。 由于所有这些原因,模块化洁净室系统通常是最佳解决方案。
由于其产品的敏感性,微电子和半导体应用的洁净室设施需要严格的环境控制。 这些洁净室还装有极其精密和昂贵的设备,例如光刻机、蚀刻机、清洗机、掺杂机和切割机。 因此,清洁规范中的任何缺陷都会影响整个生产过程。 微电子和半导体洁净室概念和设计中的其他常见问题是最大化空间,同时还允许未来重新配置。 由于所有这些原因,模块化洁净室系统通常是最佳解决方案。
半导体和微电子洁净室满足以下要求:气密性; 紫外线过滤; 无颗粒滞留; 无污染物扩散。
ISO 8573-1 确立了三个粒径范围:0.1 到 0.5 微米(微米)、0.5 到 1.0 微米和 1.0 到 5.0 微米。 同样,没有大于 5 um 的颗粒符合 1-5 级纯度等级。 只有纯度等级 1 和 2 才需要所有三个尺寸范围。通常,压缩机或过滤器制造商建议使用过滤器去除颗粒和油脂,并且随着半导体水平的提高,测量小至 0.1 微米的颗粒,校准激光粉尘颗粒计数器 是必须的。 对于许多食品制造商来说,由于可用性和费用的原因,这可能被证明是不切实际的。 如果不经常采集小样本,激光尘埃粒子计数器可能会很昂贵,但当粒子污染成为问题时,它会非常有用。 激光粒子计数器可用于通过现场测试结果快速采样多个位置,使其成为故障排除的理想选择。
0.1um激光尘埃粒子计数器特点:
ND‐9510 激光尘埃粒子计数器(0.1μm)用于测量洁净环境单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目,最小 粒径档可达 0.1μm 可直接检测洁净度等级为三十万级至十级的洁净环境。仪器采用了半导体激光光源,液 晶大屏幕显示,体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了,微处理器控制,可储存、打印测量结 果,测试洁净环境十分便利。产品广泛应用于电子、光学、化学、食品、化妆品、医药卫生、生物制品、 航空航天等领域。
粒径范围为 0.1-2(5)um 操作界面友好:彩色触摸屏操作,外壳全不锈钢,无按键,无卫生死角,便于清洁 存储数据可 U 盘导出 6 通道粒径同时显示粒子浓度 交直流两用 95%UCL 计算,自动判定洁净度等级 可打印、可存储、可导入电脑 体积重量至小至轻:便携式,方便转运 可选配相关配件,实现压缩空气的检测(例如:GC101 等)
0.1um激光尘埃粒子计数器特点技术参数: