在洁净室中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。100000级以上洁净度级别的洁净室普遍采用高效过滤器（HEPA)，但高效过滤器安装后能否达到设计要求，在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的，但工程安装结束后却未达到预定的效果，检测发现不是污染粒子超标，就是细菌数超标，并且还往往找不出真正原因。其实此类事情的发生，往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。

一、检漏的重要性

1、检漏试验是粒子测定的基础，其重要性不亚于粒子测定。

2、检漏试验和空气流速达到了规定要求，气流均匀度也在规定的控制范围内，则洁净度当然有了保证。

二、检漏方法

1、气溶胶作尘源，与气溶胶光度计配合。

常用气溶胶：邻苯二甲酸二辛酯（DOP），因其具有致突变性，现多采用聚α－烯烃（PAO)。

2、大气尘作尘源，与粒子计数器配合。

因为光度计读数为瞬时读数，便于扫描，巡检速度快；而粒子计数器读数为累积读数，不利于扫描，巡检速度慢，另外由于在被测高效过滤器上风侧往往大气尘浓度较低，需补充发烟才能明显、容易地发现泄漏，而因此气溶胶光度计检漏法恰恰弥补了粒子计数器法检漏的不足之处，因此前者采用较多。